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[四]不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差。
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[六]对生产设备的精度要求越来越严格。
, 对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,应不小于5Pa。